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26.08.2021

Messungen und Prüfungen in Reinräumen

Messungen und Prüfungen in Reinräumen

Die Einsatzbereiche von Reinräumen sind vielfältig: Von der Halbleiterfertigung über Forschungslabore bis hin zu medizinischen Anwendungen besteht der Bedarf an Räumen mit kontrollierter Reinheit. Die Partikelkonzentrationen in der Luft, am Arbeitsplatz und in den Prozessmedien müssen dabei immer wieder gemessen werden, um die fortdauernde Reinheit des Raums zu gewährleisten. Die neue Richtlinie VDI 2083 Blatt 3 beschreibt Messverfahren für Reinräume und zugehörige Bereiche, die bei der Übergabe, im Rahmen der Qualifizierung von Neuanlagen, der Routinekontrolle und der laufenden Überwachung eingesetzt werden.

Die beschriebenen Methoden sind speziell auf die Erfordernisse von Reinräumen ausgerichtet. VDI 2083 Blatt 3 gilt für erstmalige und einmalige Messungen sowie die fortlaufende oder periodische Überwachung. Die spezifizierten Methoden sind für die Übergabe von reinraumtechnischen Anlagen sowie für die Durchführung von Routine- und Überwachungsmessungen nach DIN EN 12599, VDI 2083 Blatt 2 und DIN EN ISO 14644-4 vorgesehen und sollen anwenderspezifische Verfahren ersetzen.  Die Richtlinie gilt für Partikel mit einer Größe ab 100 nm.

VDI 2083 Blatt 3 beinhaltet konkrete Hinweise zum Ablauf der Messungen, angefangen bei der Sichtprüfung über Methoden wie die Filterleckprüfung, das Bestimmen der Druckdifferenz und den sich aus diesen und weiteren Verfahren ableitenden Klassifizierungen und Einordnungen. Die Richtlinie informiert zudem über Art und Umfang der Dokumentation und definiert Mindestanforderungen an das zu erstellende Messprotokoll.

Die Richtlinienreihe VDI 2083 bietet alle nötigen Informationen zu den Aufgaben und Maßnahmen der Reinraumtechnik. Sie richtet sich speziell an Personen, die für die Messung und Qualitätswahrung in Reinräumen verantwortlich sind. Die Reihe bietet die nötigen Daten für die Auswahl von Methoden und Parametern und gibt auch Hinweise für etwaige Abweichungen, die zulässig oder notwendig sein können.

Herausgeber der Richtlinie VDI 2083 Blatt 3 „Reinraumtechnik – Messtechnik“ ist die VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik (GBG). Die Richtlinie ist im August 2021 als Entwurf erschienen und kann zum Preis ab EUR 92,90 beim Beuth Verlag (Tel.: +49 30 2601-2260) bestellt werden. Onlinebestellungen sind unter www.vdi.de/2083 oder www.beuth.de möglich.

Die Möglichkeit zur Mitgestaltung der Richtlinie durch Stellungnahmen bestehen durch Nutzung des elektronischen Einspruchsportals oder durch schriftliche Mitteilung an die herausgebende Gesellschaft gbg@vdi.de). Die Einspruchsfrist endet am 31.10.2021.

Fachlicher Ansprechpartner:
Dipl.-Phys. Thomas Wollstein VDI
VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik (GBG)
Telefon: +49 211 6214-500
E-Mail: gbg@vdi.de

(Quelle: Pressemitteilung des VDI – Verein Deutscher Ingenieure e. V.)

Schlagworte

HalbleiterindustrieReinräume

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