Grundlagen der Plasmatechnik

Das Programm im Überblick:

• Registrierung & Besichtigung der Ausstellung
• Theorie-Teil:
  • Vorbehandlung vor der Beschichtung
    a) Werkzeugbeschichtung
    b) Großflächenbeschichtung
  • Konzepte und Aufbau von Vakuumbeschichtungsanlagen
• Praxis-Teil
  • Besichtigung des Fraunhofer FEP
  • Praktische Arbeiten
    Gruppe 1: Vakuumbeschichtungssystem
    Gruppe 2: Atmosphärendruckplasmaquelle
• Auswertung & Fragen

Die Inhalte im Theorieteil:

• Vorbehandlung vor der Beschichtung
  
• Teil a) Werkzeugbeschichtung
  – Arten von Verunreinigungen (arteigene und artfremde)
  – Reinigungsverfahren Vorreinigung (Nasschemisch, Schneestrahlen, Neuartiges Verfahren)
  – Plasmabasierte Feinreinigung in der Beschichtungskammer
  
  
• Teil b) Großflächenbeschichtung
  • Reinigung von Flachglas
  • Eigenschaften von (Float)-Glasoberflächen
  • Welche Verunreinigungen sind auf Glasoberflächen typischerweise zu finden?
  • Glasreinigung durch Waschprozesse
  • Plasmaprozesse zur Behandlung von Glasoberflächen
    
    
• Konzepte und Aufbau von Vakuumbeschichtungsanlagen
  – PVD- Anlagen für die Werkzeug- und Bauteilebeschichtung
  – Glas- und Waferbeschichtungsanlagen
  –  Beschichtungsanlagen für die Prozessierung flexibler Substrate
  – Modulare Prozesssysteme
  o Cluster-Systeme, Batch-Systeme, In-line-Systeme

Die Inhalte im Praxisteil:

• Besichtigung einiger Forschungslabore des Fraunhofer FEP und Demonstration von Beispielbeschichtungen
  • In-Line Beschichtungsanlagen für die Beschichtung großflächiger flacher Gläser
  • Rolle-zu-Rolle Beschichtungsanlagen für die Beschichtung von flexiblen Kunststofffolien
  • In-Line Beschichtungsanlage zur Beschichtung von metallischen Bändern
  • Rolle-zu-Rolle Beschichtungsanlage zur Beschichtung von flexibel biegbaren Gläsern
    
    
• Praktische Gruppenarbeit an einem Vakuumbeschichtungs- system durch Nutzung von Magnetronsputtern
  • Beschichtung von Flachgläsern mit einer transparenten elektrisch leitfähigen Oxidschicht an einer In-Line Beschichtungsanlage
  • Demonstration aller Prozessschritte von der Einschleusung der Gläser, dem Start des Sputterprozesses, der Beschichtung der Gläser bis hin zur Ausschleusung der beschichteten Gläser
  • Einblicke in die Welt der Erzeugung eines Plasmas durch Magnetronsputtern
    
    
• Praktische Gruppenarbeit mit einer Atmosphärendruck-Plasmaquelle
  • Was gilt es beim Betrieb eines Atmosphärendruckplasmas zu beachten?
  • Wie wechselwirkt ein Normaldruckplasma mit einer Oberfläche?
  • Wie verändert sich das Benetzungsverhalten von Kunststoffen oder organischen Materialien, wie z.B. Holz?

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