© Westsächsiche Hochschule Zwickau

19.01.2021

Grundlagen der Plasmatechnik

Dresden, Deutschland

Seminar
Das Programm im Überblick:
  • Registrierung & Besichtigung der Ausstellung
  • Theorie-Teil:
    • Vorbehandlung vor der Beschichtung
      a) Werkzeugbeschichtung
      b) Großflächenbeschichtung
    • Konzepte und Aufbau von Vakuumbeschichtungsanlagen
  • Praxis-Teil
    • Besichtigung des Fraunhofer FEP
    • Praktische Arbeiten
      Gruppe 1: Vakuumbeschichtungssystem
      Gruppe 2: Atmosphärendruckplasmaquelle
  • Auswertung & Fragen
Die Inhalte im Theorieteil:
  • Vorbehandlung vor der Beschichtung
  • Teil a) Werkzeugbeschichtung
    – Arten von Verunreinigungen (arteigene und artfremde)
    – Reinigungsverfahren Vorreinigung (Nasschemisch, Schneestrahlen, Neuartiges Verfahren)
    – Plasmabasierte Feinreinigung in der Beschichtungskammer

  • Teil b) Großflächenbeschichtung
    • Reinigung von Flachglas
    • Eigenschaften von (Float)-Glasoberflächen
    • Welche Verunreinigungen sind auf Glasoberflächen typischerweise zu finden?
    • Glasreinigung durch Waschprozesse
    • Plasmaprozesse zur Behandlung von Glasoberflächen

  • Konzepte und Aufbau von Vakuumbeschichtungsanlagen
    – PVD- Anlagen für die Werkzeug- und Bauteilebeschichtung
    – Glas- und Waferbeschichtungsanlagen
    –  Beschichtungsanlagen für die Prozessierung flexibler Substrate
    – Modulare Prozesssysteme
    o Cluster-Systeme, Batch-Systeme, In-line-Systeme
Die Inhalte im Praxisteil:
  • Besichtigung einiger Forschungslabore des Fraunhofer FEP und Demonstration von Beispielbeschichtungen
    • In-Line Beschichtungsanlagen für die Beschichtung großflächiger flacher Gläser
    • Rolle-zu-Rolle Beschichtungsanlagen für die Beschichtung von flexiblen Kunststofffolien
    • In-Line Beschichtungsanlage zur Beschichtung von metallischen Bändern
    • Rolle-zu-Rolle Beschichtungsanlage zur Beschichtung von flexibel biegbaren Gläsern

  • Praktische Gruppenarbeit an einem Vakuumbeschichtungs- system durch Nutzung von Magnetronsputtern
    • Beschichtung von Flachgläsern mit einer transparenten elektrisch leitfähigen Oxidschicht an einer In-Line Beschichtungsanlage
    • Demonstration aller Prozessschritte von der Einschleusung der Gläser, dem Start des Sputterprozesses, der Beschichtung der Gläser bis hin zur Ausschleusung der beschichteten Gläser
    • Einblicke in die Welt der Erzeugung eines Plasmas durch Magnetronsputtern

  • Praktische Gruppenarbeit mit einer Atmosphärendruck-Plasmaquelle
    • Was gilt es beim Betrieb eines Atmosphärendruckplasmas zu beachten?
    • Wie wechselwirkt ein Normaldruckplasma mit einer Oberfläche?
    • Wie verändert sich das Benetzungsverhalten von Kunststoffen oder organischen Materialien, wie z.B. Holz?

Zur Online-Anmeldung