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12.05.2025

Kompaktes System für die Restgasanalyse

Der HiCube Neo RGA vereint eine HiCube Neo Vakuumpumpeneinheit und ein PrismaPro Massenspektrometer in einem kompakten System für die Restgasanalyse. Die in die Einheit integrierte Turbomolekular-Vakuumpumpe erzeugt das für die Massenspektrometrie erforderliche Vakuumniveau. Damit kann das PrismaPro bestimmte Massenbereiche von Gasmolekülen erkennen sowie analysieren und so Daten für die Prozessüberwachung oder Qualitätssteuerung liefern. Mit diesem System lassen sich Restgase präzise identifizieren und untersuchen. Der HiCube Neo RGA arbeitet in einem breiten Druckbereich von Atmosphärendruck bis hin zum Hochvakuum. Er kann in zahlreichen Anwendungen wie zum Beispiel der Beschichtung und für unterschiedlichste analytische Aufgaben eingesetzt werden.

Ein System mit integrierten Sicherheitsfunktionen

Für einen stabilen Betrieb und zum Schutz der Systembauteile verfügt der HiCube Neo RGA über mehrere eingebaute Sicherheitsmechanismen. Das System enthält außerdem ein Vakuummessgerät zur kontinuierlichen Überwachung des Totaldrucks. Überschreitet der Druck eine vordefinierte Sicherheitsschwelle, schaltet das System das Filament im Massenspektrometer automatisch ab, um eine Beschädigung zu verhindern. Dieses Sicherheitssystem kann die Standzeit verlängern und die Austauschhäufigkeit reduzieren. Zudem besteht die Möglichkeit, das System mit einem integrierten Absperrventil auszustatten.

Verschiedene Anschlussoptionen für die Prozessüberwachung

Der HiCube Neo RGA bietet zahlreiche Anschlussoptionen für die Integration externer Sensoren und von Überwachungsequipment. Er unterstützt sowohl digitale als auch analoge Ein- und Ausgänge, sodass Daten von zusätzlichen Sensoren – wie zum Beispiel weiteren Vakuummessgeräten – in die Analyse einbezogen werden können. Das eingebaute Touch-Display bietet direkten Zugriff auf die Messdaten und zeigt Signale von angeschlossenen Komponenten an. Die PV MassSpec Software ermöglicht zudem den schnellen und einfachen Zugang zu den Messungen.

Der neue HiCube Neo RGA für die Restgasanalyse arbeitet in einem breiten Druckbereich von Atmosphärendruck bis Hochvakuum. - © Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
Der neue HiCube Neo RGA für die Restgasanalyse arbeitet in einem breiten Druckbereich von Atmosphärendruck bis Hochvakuum. © Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions

Darüber hinaus lässt sich das System an verschiedene Anwendungen, von der Lecksuche bis hin zu Vakuumöfen, anpassen. Eine solche Option ist ein integriertes Rezipienten-Heizgerät, das zur Freisetzung adsorbierter Gase beiträgt. Indem es diese Gase verdampfen lässt und aus dem System entfernt, reduziert das Heizgerät Verunreinigungen und minimiert Untergrundsignale, die die Messgenauigkeit beeinträchtigen könnten.

Sofort einsatzbereit

Der HiCube Neo RGA ist für den Plug&Pump-Betrieb ausgelegt und schnell einzurichten. Für Anwendungen, die eine Gasanalyse an mehreren Stellen erfordern, kann das System auf einem Wagen montiert und einfach transportiert werden. Auf diese Weise kann es ohne Demontage zwischen verschiedenen Arbeitsplätzen bewegt werden.

(Quelle: Pressemeldung Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions)

Schlagworte

MessgerätePumpenRestgasanalyseSpektrometerVakuumpumpen

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